80 % volframova proizvodnja tarč za razprševanje
Uporaba tarče za razprševanje:
Pojav, pri katerem nabiti delci (kot so ioni argona) bombardirajo trdno površino, zaradi česar različni delci na površini, kot so atomi, molekule ali grozdi, uidejo s površine predmeta, se imenuje "sputtering". Pri prevleki z magnetronskim razprševanjem se pozitivni ioni, ki nastanejo z ionizacijo plina argona, običajno uporabljajo za bombardiranje trdne snovi (tarče), razpršeni nevtralni atomi pa se nanesejo na substrat (obdelovanec), da tvorijo filmsko plast. Magnetronska brizgalna prevleka ima dve glavni značilnosti: "nizka temperatura" in "hitra".
80 % volframova razpršilna tarča factpry
Princip magnetronskega razprševanja:
Med razpršeno tarčo (katodo) in anodo se doda pravokotno magnetno polje in električno polje, zahtevani inertni plin (običajno plin Ar) pa se napolni v visokovakuumsko komoro. Trajni magnet tvori kot 250 do 350 stopinj na površini ciljnega materiala. Gaussovo magnetno polje in visokonapetostno električno polje tvorita pravokotno elektromagnetno polje.
Pod delovanjem električnega polja se plin Ar ionizira v pozitivne ione in elektrone. Na tarčo se uporabi določena negativna visoka napetost. Na elektrone, oddane iz tarče, vpliva magnetno polje in poveča se verjetnost ionizacije delovnega plina. V bližini katode se tvori plazma visoke gostote. Ioni Ar pospešujejo proti ciljni površini pod delovanjem Lorentzove sile in bombardirajo ciljno površino z zelo visoko hitrostjo, zaradi česar razpršeni atomi na tarči sledijo principu pretvorbe gibalne količine. Visoka kinetična energija zapusti ciljno površino in odleti na substrat, da nanese film.
99,95% volframove razpršilne tarče
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: razprševanje z enosmernim tokom in radiofrekvenčno razprševanje. Načelo opreme za brizganje z enosmernim tokom je preprosto, njegova hitrost pa je visoka tudi pri brizganju kovine. Radiofrekvenčno razprševanje ima širši obseg uporabe. Poleg brizganja prevodnih materialov lahko brizga tudi neprevodne materiale. Izvaja lahko tudi reaktivno razprševanje za pripravo sestavljenih materialov, kot so oksidi, nitridi in karbidi. Če se frekvenca radijske frekvence poveča, postane mikrovalovno plazemsko razprševanje. Trenutno se pogosto uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
